臺大重點科技研究學院院長吳志毅於計畫成果說明會中，分享「晶創臺灣方案」推動下臺大產學合作與半導體人才之培育成果。（圖／台灣大學提供）
臺灣大學重點科技研究學院在國家科學及技術委員會「半導體學院重點設備建置專案計畫」(晶創臺灣方案)支持下，於臺大水源校區卓越研究大樓建置先進半導體製程研究場域，面對人工智慧快速發展及全球半導體競爭加劇，有助於持續強化臺灣於半導體產業的硬體實力，提升我國半導體領域學術研究發展，並與產業界創新研發合作且培育人才。
國科會目前經費已投入約3億元，臺大校方共同挹注約1億元，在國科會半導體核心設施建置專案計畫辦公室與臺大重點科技學院前院長闕志達以及現任院長吳志毅的共同規劃執行下，已於卓越研究大樓內設置無塵室內與量測設備，涵蓋解析度可達8奈米的電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、以及奈米材料與半導體元件量測等設備，提供從元件製作、製程開發到分析驗證的一站式服務，為可供各校共同使用的共享創新研發平臺。
此計畫研究成果的亮點包含臺灣大學物理系特聘教授邱雅萍團隊的臨場剖面掃描顯微半導體檢測技術，發表於Nature期刊 (Operando Cross-sectional STM in 2D Transistors，Nature 655, pages350–356 (2026)。此技術能在半導體元件實際通電運作狀態下，以原子級空間解析度直接量測金屬與半導體接觸邊緣的電子傳輸行為。另外，臺灣大學重點科技研究學院教授李敏鴻團隊開發氧化鉿鋯奈米電容，整合能量儲存、廢熱發電與晶片主動冷卻，提供未來晶片新型能源與熱管理方案。
相關計畫的產學成果亮點則已與台積電、力積電、鈺創、富采、瑞儀、群創及閎康等國內企業合作，金額達約8400萬元。主要研究議題包含：一、先進半導體製程技術與設備開發；二、新世代記憶體與 AI 運算電子元件；三、矽光子與先進光電元件。至於在國際合作方面，該學院已與美國賓夕法尼亞大學 (University of Pennsylvania) 共同成立半導體研究中心(NTU–UPenn Joint Semiconductor Research Center)，推動跨國專題研究、人才共同培育等學術交流。
臺大將活化運用已建置半導體製程設備，完善共享機制，促進產學合作並增強國際研究鏈結，打造兼具前瞻研究及國際高階人才培育功能的開放式半導體研發生態系。